微波等离子清洗机作为一款绿色无污染的高精密干法清洗设备，它可以有效去除表面污染物，避免静电损伤。

 

　　微波等离子清洗机是用等离子体通过化学或物理作用对工件表面进行分子水平处理，去除沾污，改善表面性能的工艺过程。对应不同的污染物，应采用不同的清洗工艺。当腔内压力为动态平衡时，利用微波源振荡产生的高频交变电磁场将氩气、氧气、 氮气、氢气等工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化学氧化还原反应。

 

　　设备结构：

　　微波等离子清洗机主要是由五部分组成：分别为外壳框架系统、微波放电系统、真空系统、供气系统和控制系统。该设备控制方式为工控机PLC，操作方式包括自动模式和手动模式，在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储50组不同的配方。设备设计有工作气体耗尽报警、压缩空气压力低于设定值报警、泵热过载报警、反应仓泄露率过大报警等安全功能。

 

　　与湿法清洗相比，微波等离子清洗机的优势主要体现在以下几个方面：

　　1、清洗过程只需几分钟即可完成，清洗时等离子可渗透到物体细小的角落并完成清洗任务，因此清洗效率高；

　　2、经过等离子清洗后被清洗器件己经很干燥，无需再进行干燥处理。

　　3、清洗时产生的气体及汽化的污垢被排出，在器件上无残留物；

　　4、可清洗不同的基材，使用材料范围广；

　　5、节省废物处理费用。